GSC300气瓶称重系统是一种集中供气系统,应用于半导体制造工艺和设备,称重范围0-30000kg,输出精度高,是半导体行业的首选。
GSC300为半导体行业提供气体控制的重量传感器,本公司具有雄厚专业技术开发人员,为用户提供一流品质的设备和优秀的服务。
上海隽创GSC300紧跟市场需求,放眼全球,诚信经营,科技创新,为中国企业做好特种气体计量系统,让中国企业创新更上一层楼。
GSC300气柜秤为半导体工业特种气体计量应用主要包括:硅烷、二氯二氢硅、乙硅烷,三氯化硼、三氟化硼、磷烷、砷烷,氯气、三氟化氮、溴化氢、四氟化碳、六氟乙烷二氧化碳、氨、氧化亚氮,六氟化钨、三甲基镓等。
GSC气瓶秤采用安全设计,所选用的材料适用于各种不同性质的气体,美观,紧凑,安全,质优价廉,可按照客户要求定制。
在半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程环节都需要使用各高纯气体。在超高纯气体输送系统的设计中都使用GSC300气柜秤精确解决圆柱体气罐测量.